電子工業超純水設備通常由多介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,做到了無人值守。

主要應用
1、大規模集成電路元器件的生產用水,一般電阻率均大于18MO-CM。按國家有關用水標準(GB/T11446.1-1997)執行。
2、電子元件廠,在焊接和組裝過程中的沖洗用水。依據電子元件生產工藝不同,其用水標準中(即GB/T11446.1-1997)有可為四級(一級最高電導率18MO-CM以上,二級電阻率不低于15MO-CM,3級電阻率12MO-CM, 4級為0.5MO-CM)。

應用范圍
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水;
3、實驗室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產品;
6、其他高科技精微產品。